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高純水設(shè)備出水標(biāo)準(zhǔn)的討論

時(shí)間:2014-08-14 作者:admin 點(diǎn)擊:362次

 近年來(lái),隨著半導(dǎo)體和集成電路的迅速發(fā)展,人們常提到高純水設(shè)備出水水質(zhì)如何適應(yīng)微電子工業(yè)要求的問(wèn)題。在各國(guó)現(xiàn)有的標(biāo)準(zhǔn)中,大多是由一些半導(dǎo)體廠(chǎng)家和水處理公司提供的,*近幾年也有學(xué)會(huì)頒布的,盡管標(biāo)準(zhǔn)中所列的指標(biāo)大同小異,但仍有差別,有的甚至?xí)_(dá)到一個(gè)數(shù)量級(jí),特別是由水處理公司提供的數(shù)據(jù)往往是從商業(yè)需要出發(fā),可謂品類(lèi)繁多。為了避免使用上的盲目性,建立符合我國(guó)國(guó)情的高純水標(biāo)準(zhǔn),乃是當(dāng)務(wù)之急。

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