理論分析了純水電導率與離子含量的關系 ,結合高純水設備再生沖洗電導率的變化趨勢 ,確定了以電導率為指標的高純水設備再生沖洗終點的控制值。以電導率控制沖洗終點效果良好 ,比 pH控制更準確、靈敏。同時還分析了終點控制不準確 ,可能造成氯化鈉污染樹脂的情況